講演情報
[15p-WL2_401-10]基板表面への固体粒子付着がCVD単結晶ダイヤモンド成長に及ぼす影響
〇新田 魁洲1、嶋岡 毅紘1、山田 英明1、茶谷原 昭義1、坪内 信輝1、杢野 由明1 (1.産総研)
キーワード：
ダイヤモンド、プラズマCVD、レーザー光散乱
ダイヤモンドの化学気相堆積(CVD)においてしばしば生じる異常成長粒子は、デバイス特性を低下させる問題となる。我々はレーザー光散乱により、CVD中の気相に固体粒子を検出し、異常成長粒子形成への関与を示唆してきた。本研究では、固体粒子のサイズに着目し、レーザー光散乱による検出下限評価と、既知サイズ粒子の付着時の成長影響の調査を通じて、異常成長粒子抑制に向けたレーザー光散乱の有用性を検討する。