Presentation Information
[15p-WL2_401-12]Epitaxial Growth of Diamond on Ir/ Sapphire Substrate
〇(DC)Masahiro Tsuji1, Masanori Eguchi2, Saha Niloy Chandra1, Makoto Kasu1,3 (1.Diamond Semiconductor Research Center, Saga Univ., 2.Synchrotron Research Center, Saga Univ., 3.Diamond Semiconductor Co., Ltd.)
Keywords:
Diamond,Epitaxial growth
我々は、独自に作成したIr(001)/サファイア(11-20)基板上にダイヤモンドを成長した。X線回折によりDiamond 111の回折ピーク、 Diamond 004 の回折ピークが現れダイヤモンドの薄膜が成長したことを確認した。
ダイヤモンド表面をSEM像により観察し、Diamond(001)のドメインが観察され、ダイヤモンド[110]はサファイア[0001]に配向していた。
ダイヤモンド表面をSEM像により観察し、Diamond(001)のドメインが観察され、ダイヤモンド[110]はサファイア[0001]に配向していた。
