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[16p-PA7-21]Multimodal spectral imaging analysis of MoS2 sheets under Ar-plasma mediated F treatment

〇(B)Yuta Suwa^1,2, Naoka Nagamura^1,2, Masahito Kotsugi¹, Ryou Nouchi³ (1.Tokyo Univ. of Sci., 2.NIMS, 3.Osaka Metropolitan Univ.)

Atomic layer 2D material,Surface Treatment

本研究では、顕微ラマン分光と顕微光電子分光(XPS)のマルチモーダル解析により、MoS₂薄片に対するフッ素プラズマ処理の効果を調べた。本研究の顕微分光マルチモーダル解析により、MoS₂薄片のエッジ選択的特性およびフッ素プラズマ処理で生じる化学状態・電子状態の変調が具体的に明らかになった。