講演情報
[16p-PA7-21]フッ素プラズマ処理MoS2の顕微分光マルチモーダル分析
〇(B)諏訪 優太1,2、永村 直佳1,2、小嗣 真人1、野内 亮3 (1.理科大先進工、2.物材研、3.大阪公立大工)
キーワード：
原子層2次元材料、表面処理
本研究では、顕微ラマン分光と顕微光電子分光(XPS)のマルチモーダル解析により、MoS₂薄片に対するフッ素プラズマ処理の効果を調べた。本研究の顕微分光マルチモーダル解析により、MoS₂薄片のエッジ選択的特性およびフッ素プラズマ処理で生じる化学状態・電子状態の変調が具体的に明らかになった。