[16p-W9_222-1~11] Lab to Fab 2: Bridging Semiconductor Research with Scalable and Sustainable Manufacturing

5:15 PM - 5:50 PM JST(8:15 AM - 8:50 AM UTC)

[16p-W9_222-10] Innovation in Wet Processes and Ecosystem Building for Green Semiconductor Manufacturing

〇Hiroki Miyajima¹, Shinichi Nakagawa¹ (1.Screen)

Keywords:

cleaning,wet,green

生成AIの普及等により半導体需要が増加する中、製造工程では環境負荷の低減が喫緊の課題です。本講演では、グリーンな半導体製造に向けた新しい洗浄技術や外部パートナー連携での課題解決などの当社の取り組みをご紹介します。