Presentation Information
[16p-W9_222-3]Verification of Reusability in a Multi-Step Annealing Model of ALD-SiO2 Using Physics-Based Intermediate Variables
〇Ryosuke Okachi1, Masanori Usui1, Junya Muramatsu1, Makoto Kuwahara1, Daigo Kikuta1 (1.Toyota Central R&D Labs., Inc.)
Keywords:
semiconductor,digital twin,reusability
半導体製造工程デジタルツインモデルの再利用性向上のために、物理に基づく中間変数によるモジュール分割型モデルを提案している。これまでに、ALD酸化膜をポストアニール後にウェットエッチングする工程を例に、モジュール分割モデルによるエッチングレート予測を行い、実現可能性を示した。本講演では、アニール工程を複数回実施する実験に拡張し、モデルの更なる再利用性を検証した結果を報告し、議論を深める。