講演情報
[16p-W9_222-3]物理に基づく中間変数を用いたALD-SiO2複数回アニールモデルの再利用性検証
〇岡地 涼輔1、臼井 正則1、村松 潤哉1、桑原 誠1、菊田 大悟1 (1.豊田中研)
キーワード：
半導体、デジタルツイン、再利用性
半導体製造工程デジタルツインモデルの再利用性向上のために、物理に基づく中間変数によるモジュール分割型モデルを提案している。これまでに、ALD酸化膜をポストアニール後にウェットエッチングする工程を例に、モジュール分割モデルによるエッチングレート予測を行い、実現可能性を示した。本講演では、アニール工程を複数回実施する実験に拡張し、モデルの更なる再利用性を検証した結果を報告し、議論を深める。