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[16p-WL2_101-8]Synthesis and optical characterization of oxyhydroxide AlOOH thin films

〇Takuro Sekiguchi1, Takuto Soma1, Kohei Yoshimatsu1, Akira Ohtomo1 (1.Science Tokyo)

Keywords:

oxyhydroxide,thin film synthesis

γ型AlOOHは水酸基を構造要素として含む酸水酸化物であり,熱処理による脱水反応に伴って Al₂O₃ へと転換する.本研究では,AlOx蒸着膜の水熱処理によるAl酸水酸化物薄膜の合成法を確立し,水素種の脱離挙動を光学的手法によって解析した.合成した薄膜の熱処理により,水素種の脱離に対応した格子振動の消失に加え,バンドギャップが系統的に増大することが明らかになった.