講演情報
[16p-WL2_101-8]酸水酸化物AlOOH薄膜の合成と光学的評価
〇関口 琢朗1、相馬 拓人1、吉松 公平1、大友 明1 (1.科学大物質理工)
キーワード：
酸水酸化物、薄膜合成
γ型AlOOHは水酸基を構造要素として含む酸水酸化物であり，熱処理による脱水反応に伴って Al₂O₃ へと転換する．本研究では，AlOx蒸着膜の水熱処理によるAl酸水酸化物薄膜の合成法を確立し，水素種の脱離挙動を光学的手法によって解析した．合成した薄膜の熱処理により，水素種の脱離に対応した格子振動の消失に加え，バンドギャップが系統的に増大することが明らかになった．