[17a-M_103-1~13] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

9:15 AM - 9:30 AM JST(12:15 AM - 12:30 AM UTC)

[17a-M_103-2] Uniform surface modification of AlN ceramics via plasma self-terminating modification

〇RONGYAN SUN¹, TONG TAO¹, YUJI OHKUBO¹, KAZUYA YAMAMURA¹ (1.The Univ. of Osaka)

Keywords:

plasma self-terminating modification,AlN ceramics

焼結セラミックスは、粒界やバインダ相の不均一性に起因して、機械加工時に異方的な材料除去や粒脱落が生じやすく、従来の研磨法ではサブナノレベルの表面仕上げが困難である。また、既存の改質援用研磨法においても、材料不均一性に起因する改質の不均一性が課題として残されている。そこで本研究では、プラズマ自己停止改質現象に着目し、改質条件を適切に制御することで、AlN セラミックス材料の不均一性に依存しない均一な表面改質を実現した。