講演情報
[17a-M_103-2]プラズマ自己停止改質によるAlNセラミックスの均一表面改質
〇孫 栄硯1、陶 通1、大久保 雄司1、山村 和也1 (1.阪大工)
キーワード：
プラズマ自己停止改質、AlNセラミックス
焼結セラミックスは、粒界やバインダ相の不均一性に起因して、機械加工時に異方的な材料除去や粒脱落が生じやすく、従来の研磨法ではサブナノレベルの表面仕上げが困難である。また、既存の改質援用研磨法においても、材料不均一性に起因する改質の不均一性が課題として残されている。そこで本研究では、プラズマ自己停止改質現象に着目し、改質条件を適切に制御することで、AlN セラミックス材料の不均一性に依存しない均一な表面改質を実現した。