[17a-M_278-1~13] CS.3 Code-sharing Session of 6.1 & 13.3 & 13.5

11:30 AM - 11:45 AM JST(2:30 AM - 2:45 AM UTC)

[17a-M_278-10] Why HfO2 ferroelectricity disappears below ~5 nm thickness?

〇Akira Toriumi¹, Shinji Migita² (1.None, 2.AIST)

Keywords:

ferroelectric HfO2

HfO2の示す強誘電性は膜厚が5 nm以下で急激に減少して消失するが、この現象の起源について考察する