[17a-M_278-1~13] CS.3 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェアセッション

11:30 〜 11:45

[17a-M_278-10] HfO2の強誘電性は何故～５nm以下の膜厚で急激に消失するのだろうか？

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.自由業、2.産総研)

キーワード：

強誘電性HfO2

HfO2の示す強誘電性は膜厚が5 nm以下で急激に減少して消失するが、この現象の起源について考察する