Presentation Information
[17a-W9_324-7]Evaluation and comparison of electrical properties via the hall effect in ZnGa2O4 polycrystalline thin films prepared by hydrothermal synthesis and sputtering
〇Reiya Kase1, Tomoki Iitsuka1, Yuya Oguma1, Kazunuki Yamamoto2, Satoshi Ishii1 (1.Tokyo Denki Univ., 2.Chiba Univ.)
Keywords:
ZnGa2O4,hall measurement,carrier conduction
これまでに我々は，水熱合成ZnGa2O4（ZGO）ナノ粒子から作製した多結晶薄膜の電気伝導機構を調査してきた．本研究では，新たにスパッタ法によりアモルファスZGO薄膜を作製し，ナノ粒子薄膜とスパッタ薄膜の両方でホール測定を行い，ホール移動度やキャリア濃度の面から電気特性を評価・比較した．結果から，両薄膜は温度変化により異なる傾向を示し，電気伝導機構に相違があることが示唆された．