講演情報
[17a-W9_324-7]水熱合成法およびスパッタ法により作製したZnGa2O4多結晶薄膜のホール効果による電気特性の評価・比較
〇加瀬 伶也1、飯塚 知己1、小熊 佑弥1、山本 和貫2、石井 聡1 (1.東京電機大、2.千葉大院工)
キーワード：
ZnGa2O4、ホール測定、キャリア伝導
これまでに我々は，水熱合成ZnGa2O4（ZGO）ナノ粒子から作製した多結晶薄膜の電気伝導機構を調査してきた．本研究では，新たにスパッタ法によりアモルファスZGO薄膜を作製し，ナノ粒子薄膜とスパッタ薄膜の両方でホール測定を行い，ホール移動度やキャリア濃度の面から電気特性を評価・比較した．結果から，両薄膜は温度変化により異なる傾向を示し，電気伝導機構に相違があることが示唆された．