[17p-M_103-1~12] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

4:45 PM - 5:00 PM JST(7:45 AM - 8:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17p-M_103-11] Evaluation of structural evolution in Si thick film anodes for lithium-ion batteries using atmospheric-pressure, very high-frequency plasma

〇(M1)Koki Hiromoto¹, Farrel Dzaudan Naufal¹, Koki Enomoto¹, Hiromasa Ohmi¹, Hiroaki Kakiuchi¹ (1.Univ. Osaka)

Keywords:

atmospheric pressure PECVD,Lithium ion battery,silicon anode

リチウムイオン電池はポータブル電子機器に広く用いられる二次電池である。この負極材料として高い理論容量を持つSiが注目されているが、充放電時の体積変化に伴う破損が実用化を阻んでいる。そこで、我々は大気圧PECVD法により、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造Si厚膜を作製し、高い安定性と電気容量を持つ負極材料を開発している。本発表では、作製したSi負極の充放電中の構造変化を報告する。