[17p-M_103-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[17p-M_103-11] 超高周波励起大気圧プラズマにより作製したリチウムイオン電池用厚膜Si負極の構造評価

〇(M1)広本 恒輝¹、Farrel Dzaudan Naufal¹、榎本 光希¹、大参 宏昌¹、垣内 弘章¹ (1.阪大院工)

キーワード：

大気圧PECVD、リチウムイオン電池、シリコン負極

リチウムイオン電池はポータブル電子機器に広く用いられる二次電池である。この負極材料として高い理論容量を持つSiが注目されているが、充放電時の体積変化に伴う破損が実用化を阻んでいる。そこで、我々は大気圧PECVD法により、微結晶Si層とアモルファスSi層の二層構造Si厚膜を作製し、高い安定性と電気容量を持つ負極材料を開発している。本発表では、作製したSi負極の充放電中の構造変化を報告する。