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[17p-PB3-10]Comparison of Analytical and Non-parametric Inversion Approaches for EEPFs in Ar ICP based on OES and CRM
〇Yuchen Ye1, Kenta Doi2, Tetsuji Kiyota2, Wataru Kikuchi1, Wentao He1, Kazuki Shimatani1, Hinata Hanyu1, Yuya Yamashita1, Atsushi Nezu1, Hiroshi Akatsuka1 (1.Institute of Science Tokyo, 2.ULVAC,Inc.)
Keywords:
collisional radiative model,electron energy distribution,inductively coupled plasma
低圧プラズマ中の非マクスウェル電子エネルギー分布推定に関し、従来の形状仮定を排したスプライン法による非パラメータ的手法を提案した。アルゴン誘導結合プラズマ放電の解析により、本手法がマクスウェル分布等では捉えきれない高エネルギーテールの減少を、より高精度かつ自由度の高いアプローチで捉え得る可能性を示した。