講演情報
[17p-PB3-10]発光分光法と衝突輻射モデルによるアルゴン誘導結合プラズマの電子エネ ルギー分布関数構築における解析・非パラメータ手法の比較
〇叶 宇晨1、土居 謙太2、清田 哲司2、菊地 航行1、何 文涛1、島谷 和希1、羽生 陽向1、山下 雄也1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.科学大、2.アルバック)
キーワード：
衝突輻射モデル、電子エネルギー分布、誘導結合プラズマ
低圧プラズマ中の非マクスウェル電子エネルギー分布推定に関し、従来の形状仮定を排したスプライン法による非パラメータ的手法を提案した。アルゴン誘導結合プラズマ放電の解析により、本手法がマクスウェル分布等では捉えきれない高エネルギーテールの減少を、より高精度かつ自由度の高いアプローチで捉え得る可能性を示した。