[17p-W8E_307-1~10] 15.3 III-V-group epitaxial crystals, Fundamentals of epitaxy

2:00 PM - 2:15 PM JST(5:00 AM - 5:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17p-W8E_307-3] Precise estimation of reference surface morphology in AFM images using a modified Canny method

〇Haruto Okuizumi¹, Rhenish Simon¹, Ronel Roca¹, Itaru Kamiya¹ (1.Toyota Tech. Inst.)

Keywords:

quantum structure,AFM,image processing

GaAs（001）上のInAs 量子ドット（QD）の高さ分布解析には、原子間力顕微鏡が広く用いれているが、基板表面の凹凸などによってその同定は容易ではない。本研究では、画像処理のCanny法を発展させ、AFM像からQDのない表面（基準表面）を推定することにより、QD高さ分布の解析を行った。推定された基準表面はQDのない表面形状を精度良く推定し、QD高さ分布解析の精度向上を確認した。