[17p-W8E_307-1~10] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

14:00 〜 14:15奨励賞エントリー

[17p-W8E_307-3] Canny法の発展によるAFM像の基準表面形状の精密推定

〇奥泉 陽斗¹、シモン レニッシュ¹、ロカ ロネル¹、神谷 格¹ (1.豊田工大)

キーワード：

量子構造、原子間力顕微鏡、画像処理

GaAs（001）上のInAs 量子ドット（QD）の高さ分布解析には、原子間力顕微鏡が広く用いれているが、基板表面の凹凸などによってその同定は容易ではない。本研究では、画像処理のCanny法を発展させ、AFM像からQDのない表面（基準表面）を推定することにより、QD高さ分布の解析を行った。推定された基準表面はQDのない表面形状を精度良く推定し、QD高さ分布解析の精度向上を確認した。