Presentation Information
[17p-W9_324-3]High-purity β-Ga2O3 growth in an industrial-scale MOVPE reactor via elucidation of trimethylgallium decomposition and hydrocarbon combustion mechanisms
〇Yuma Terauchi1, Shogo Sasaki2, Junya Yoshinaga1,3, Yoshihiko Takinami4, Masato Ishikawa5, Yoshinao Kumagai1 (1.Tokyo Univ. of Agric. and Tech., 2.Nara Women's Univ., 3.TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION, 4.Kanomax Analytical Inc., 5.Gas-Phase Growth Ltd.)
Keywords:
Ga2O3,MOVPE,Trimethylgallium
次世代パワーデバイス材料β-Ga2O3の高純度MOVPE成長のため、減圧ホットウォール反応炉からのガスサンプリング質量分析により、Ga原料であるトリメチルガリウムの分解および炭化水素燃焼挙動を検討した。Arキャリアガス中では主生成物であるC2H4が高温かつ高VI/III供給比条件下で完全燃焼した。得られた条件に基づき2インチ径基板に対応した量産型装置で高純度層の高速成長を確認した。