講演情報
[17p-W9_324-3]トリメチルガリウム分解・炭化水素燃焼機構の解明に基づく量産型MOVPE炉での高純度β-Ga2O3成長
〇寺内 悠真1、佐々木 捷悟2、吉永 純也1,3、瀧浪 欣彦4、石川 真人5、熊谷 義直1 (1.東京農工大院工、2.奈良女大、3.大陽日酸株式会社、4.カノマックスアナリティカル株式会社、5.気相成長株式会社)
キーワード：
酸化ガリウム、有機金属気相成長法、トリメチルガリウム
次世代パワーデバイス材料β-Ga2O3の高純度MOVPE成長のため、減圧ホットウォール反応炉からのガスサンプリング質量分析により、Ga原料であるトリメチルガリウムの分解および炭化水素燃焼挙動を検討した。Arキャリアガス中では主生成物であるC2H4が高温かつ高VI/III供給比条件下で完全燃焼した。得られた条件に基づき2インチ径基板に対応した量産型装置で高純度層の高速成長を確認した。