Presentation Information
[18a-PA3-21]Electrical characteristics of amorphous ZnGa2O4 thin films with varying electrode spacing
〇Tomoki Iitsuka1, Yuya Oguma1, Reiya Kase1, Kazunuki Yamamoto2, Satoshi Ishii1 (1.Tokyo Denki Univ., 2.Chiba Univ.)
Keywords:
ZnGa2O4,Schottky plot,Photolithography
本研究は、ZnGa2O4薄膜デバイスの集積化を見据えて、電極間隔を小さくした試料を作製し、電気特性の変化を調査した。その結果、電流－電圧特性は、いずれの試料においても電流は電圧に対して非線形かつ極性非対称を示した。また、Schottkyプロットをしたところ、全ての試料で線形関係が確認された。このことから、デバイスの電気抵抗は、少なくとも電極間隔2 µmまでは、電極からのSchottky型の電流注入機構によって支配されていると考えられる。