[18a-PA3-1~39] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

[18a-PA3-34] Effect of surface morphology on gas sensitivity of SnO₂-based CO₂ gas sensors fabricated by Electrostatic Spray Deposition

〇Rikuto Sekimura¹, Taisei Hattori¹, Kanata Tanaka¹, Mutsumi Sugiyama^1,2 (1.Tokyo Univ. Sci., 2.RIST)

Keywords:

Electrostatic Spray,Tin Oxide,CO2 sensing

本研究では、ESDを用いた半導体式CO₂ガスセンサの作製を行い、SnO₂薄膜の表面形態がガス感度に与える影響について検討を行った。