[18a-PA3-1~39] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18a-PA3-34] 静電スプレー堆積(ESD)法を用いて作製したSnO₂系CO₂ガスセンサの表面形態がガス感度に与える影響

〇関村 陸斗¹、服部 汰星¹、⽥中 哉多¹、杉⼭ 睦^1,2 (1.東理大　創域理工、2.東理大　総研)

キーワード：

静電スプレー、酸化スズ、二酸化炭素検知

本研究では、ESDを用いた半導体式CO₂ガスセンサの作製を行い、SnO₂薄膜の表面形態がガス感度に与える影響について検討を行った。