Presentation Information
[18a-PB4-1]Study on powder properties changes during thin film fabrication using powder targets
〇Hiroharu Kawasaki1, Takahiko Satake1,2, Akihiro Ikeda2, Shinichi Aoqui2, Masaaki Yamazato3, Tamiko Ohshima4 (1.Nat,l Ins. Tech., Sasebo Col., 2.Sojo Univ., 3.RyuKyu Univ., 4.Nagasaki Univ.)
Keywords:
Powder target,Sputtering
粉体ターゲットを用いたスパッタ法による機能性薄膜の作製は、近年行われ始めた新しい方法であり、成膜機構が明確ではない。特に成膜速度の変化や膜の特性等が、通常のスパッタ成膜法とは異なる点が多く、作成される薄膜の制御が容易でない。本研究では、粉体ターゲットを用いたスパッタリング成膜の機構、特に成膜による粉体ターゲットそのものの経時変化と作製される薄膜との相関を明らかにする