講演情報
[18a-PB4-1]粉体ターゲットを用いた薄膜作製～粉体特性変化～
〇川崎 仁晴1、佐竹 卓彦1,2、池田 晃裕2、青木 振一2、山里 将朗3、大島 多美子4 (1.佐世保高専、2.崇城大学、3.琉球大学、4.長崎大学)
キーワード：
粉体ターゲット、スパッタリング
粉体ターゲットを用いたスパッタ法による機能性薄膜の作製は、近年行われ始めた新しい方法であり、成膜機構が明確ではない。特に成膜速度の変化や膜の特性等が、通常のスパッタ成膜法とは異なる点が多く、作成される薄膜の制御が容易でない。本研究では、粉体ターゲットを用いたスパッタリング成膜の機構、特に成膜による粉体ターゲットそのものの経時変化と作製される薄膜との相関を明らかにする