Presentation Information
[18a-W2_401-10]Impacts of B precursors on the deep-UV luminescence characteristics of BN thin films grown by metalorganic chemical vapor deposition
〇Kohei Shima1, Haruto Tsujitani1, Moriyuki Kanno1, Shigefusa Chichibu1 (1.IMRAM-Tohoku Univ.)
Keywords:
BN,MOCVD,Cathodoluminescence
大面積化が期待できる気相成長法により、室温において励起子発光が支配的なBN薄膜が得られた例は、静大原らによるハライド気相成長法(BCl3/NH3系)に限られている。我々は、有機金属化学気相堆積(MOCVD)法による深紫外発光BN薄膜成長について検討してきた。本講演では、トリエチルホウ素(TEB)およびトリス(ジメチルアミノ)ホウ素(TDMAB)を用いてsp2結合BN薄膜をMOCVD成長させ、B原料がBN薄膜の深紫外発光特性に与える影響を評価した結果を報告する。