講演情報
[18a-W2_401-10]ホウ素原料が有機金属気相成長BN薄膜の深紫外発光特性に与える影響
〇嶋 紘平1、辻谷 陽仁1、菅野 杜之1、秩父 重英1 (1.東北大多元研)
キーワード：
窒化ホウ素、有機金属化学気相堆積、カソードルミネッセンス
大面積化が期待できる気相成長法により、室温において励起子発光が支配的なBN薄膜が得られた例は、静大原らによるハライド気相成長法(BCl3/NH3系)に限られている。我々は、有機金属化学気相堆積(MOCVD)法による深紫外発光BN薄膜成長について検討してきた。本講演では、トリエチルホウ素(TEB)およびトリス(ジメチルアミノ)ホウ素(TDMAB)を用いてsp2結合BN薄膜をMOCVD成長させ、B原料がBN薄膜の深紫外発光特性に与える影響を評価した結果を報告する。