[18a-W2_401-1~11] 15.4 III-V-group nitride crystals

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)

[18a-W2_401-5] Effect of Substrate Constraints on Structural Stability of NbAlN Alloys

〇Takahiro Kawamura¹, Toru Akiyama¹, Riku Kikuchi², Souta Kurogi³, Atsushi Kobayashi^2,3, Akira Kusaba⁴, Yoshihiro Kangawa⁴ (1.Mie Univ., 2.Graduate School, Tokyo Univ. of Science, 3.Tokyo Univ. of Science, 4.RIAM, Kyushu Univ.)

Keywords:

Niobium nitride,Aluminum nitride,Alloy

ウルツ鉱型NbAlN混晶がAlN基板上に成長することが報告され、新たな窒化物誘電体材料として注目されているが、その結晶構造および結晶性はNb組成に強く依存し、ウルツ鉱型構造の安定性については未解明な点が多い。そこで本研究では、第一原理計算を用いて基板拘束がNbAlN混晶の構造安定性に及ぼす影響を明らかにし、成長条件最適化に向けた指針を得ることを目的とした。