[18a-W2_401-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

10:00 〜 10:15

[18a-W2_401-5] NbAlN混晶の構造安定性に対する基板拘束の影響

〇河村 貴宏¹、秋山 亨¹、菊池 立貢²、黒木 颯太³、小林 篤^2,3、草場 彰⁴、寒川 義裕⁴ (1.三重大院工、2.理科大院先進工、3.理科大先進工、4.九大応力研)

キーワード：

窒化ニオブ、窒化アルミニウム、混晶

ウルツ鉱型NbAlN混晶がAlN基板上に成長することが報告され、新たな窒化物誘電体材料として注目されているが、その結晶構造および結晶性はNb組成に強く依存し、ウルツ鉱型構造の安定性については未解明な点が多い。そこで本研究では、第一原理計算を用いて基板拘束がNbAlN混晶の構造安定性に及ぼす影響を明らかにし、成長条件最適化に向けた指針を得ることを目的とした。