[18p-M_103-1~7] 8.1 Plasma production and diagnostics

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[18p-M_103-2] Diagnostics of CF₄/O₂ Capacitively Coupled Plasma Using Tomographic Emission Spectroscopy

〇(M1)Masato Yoshii¹, Kenta Doi², Tetsuji Kiyota², Yuchen Ye¹, Wentao He¹, Hiroshi Akatsuka¹ (1.Science Tokyo, 2.ULVAC)

Keywords:

Plasma Diagnosis

低圧プラズマを用いたドライエッチングは半導体デバイス作製において不可欠なプロセスであり、さらなるプロセス改善に向けてプラズマパラメータの測定を行う重要性が高まっている。
本研究では、CF₄/O₂容量結合プラズマを対象に、同時に複数視線の測定が可能なトモグラフィ発光分光計測を用いて、分光放出係数などの位置分布を得ることができたので報告する。