[18p-M_103-1~7] 8.1 プラズマ生成・診断

14:15 〜 14:30

[18p-M_103-2] トモグラフィ発光分光計測を用いたCF₄/O₂容量結合プラズマの診断

〇(M1)吉井 大翔¹、土居 謙太²、清田 哲司²、叶 宇晨¹、何 文涛¹、赤塚 洋¹ (1.東京科学大、2.アルバック)

キーワード：

プラズマ診断

低圧プラズマを用いたドライエッチングは半導体デバイス作製において不可欠なプロセスであり、さらなるプロセス改善に向けてプラズマパラメータの測定を行う重要性が高まっている。
本研究では、CF₄/O₂容量結合プラズマを対象に、同時に複数視線の測定が可能なトモグラフィ発光分光計測を用いて、分光放出係数などの位置分布を得ることができたので報告する。