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3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[18p-M_103-6]Monitoring of metal surface modification by reactive plasma using multi-sine impedance spectroscopy

〇Junki Morozumi¹, Koji Eriguchi¹, Keiichiro Urabe¹ (1.Kyoto university)

Keywords:

Impedance spectroscopy,Plasma oxidation

反応性プラズマと接する様々な固体材料の表面改質および改質に伴うプラズマ状態の変化を捉えることはプラズマプロセスの発展に不可欠である．本研究では表面改質過程の決定パラメータである電場に着目し，電場と相関するシースおよび改質層パラメータの時間変化をMulti-sineインピーダンス分光法により捉えた．シースおよび改質層に対応する各回路パラメータを時間連続に取得し，表面改質過程を捉えることを試みた.

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