講演情報
[18p-M_103-6]Multi-sineインピーダンス分光法を用いた反応性プラズマによる金属材料表面改質のモニタリング
〇両角 潤樹1、江利口 浩二1、占部 継一郎1 (1.京大院工)
キーワード：
インピーダンス分光法、プラズマ酸化
反応性プラズマと接する様々な固体材料の表面改質および改質に伴うプラズマ状態の変化を捉えることはプラズマプロセスの発展に不可欠である．本研究では表面改質過程の決定パラメータである電場に着目し，電場と相関するシースおよび改質層パラメータの時間変化をMulti-sineインピーダンス分光法により捉えた．シースおよび改質層に対応する各回路パラメータを時間連続に取得し，表面改質過程を捉えることを試みた.