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[18p-M_178-2]Selective point-defect imaging in monolayer WSe2 by conductive AFM

〇(M1C)Yuki Shimomura1,2, Yuta Sawai1,2, Ryotaro Sakakibara1, Kenji Watanabe1, Takashi Taniguchi1, Shoji Yoshida3, Yasumitsu Miyata1,2 (1.NIMS, 2.Tokyo Metro. Univ., 3.Tsukuba Univ.)

Keywords:

Conductive Atomic Force Microscopy,Transition Metal Dichalcogenides,Atomic defect

導電性原子間力顕微鏡(cAFM)はTMDの点欠陥可視化に有効だが、単層TMDでは低いトンネル障壁により安定計測が困難である。そこで本研究では数層hBNをトンネル障壁として用いたcAFMに着目した。hBN被覆により高電圧下でも安定したトンネル電流が得られ、多数の点欠陥と、それに由来する状態密度の変化が観察された。これにより、単層TMDの欠陥観察と電子状態評価への有効性が示された。