[2O20-21] 分析技術

17:40 〜 17:55

[2O20] EBSDによる塑性ひずみ定量化への取り組み(3) 測定間隔の影響を補正した局所方位差の算出方法）

*釜谷 昌幸¹、前川 直子¹ (1. INSS)

キーワード：

EBSD、塑性ひずみ、方位差

EBSDを用いて塑性ひずみを推定する取り組みが多くなされている。一方で、EBSD測定で得られる局所方位差は測定の際の間隔（ステップサイズ）や測定格子（正方、六角）の影響を受けることが知られている。したがって、局所方位差を比較する際はステップサイズおよび測定格子を同じにする必要がある。本研究では、異なるステップサイズ、測定格子の測定結果でも比較できるよう、等距離局所方位差を提案した。この方法を用いることで、任意のステップサイズの局所方位差分布に変換することができることを示す。