講演情報

[[C]C302-4pm2-06]量子化学計算によるSi(110)面の結晶エピタキシャル成長機構の解析

○西山 凌雅1、乗松 航1、国吉 ニルソン1 (1. 早稲田大学)

キーワード:

化学蒸着法、反応動力学