講演情報

10:15 〜 10:30

[S19_2_02(学生講演)]ハイブリッド接合前CMPにおける超微細粒銅の研磨特性評価

〇宮本大樹¹、タナカファビアナ¹、端山健太¹、神谷佑哲¹、村上駿平¹、佐野麻理恵¹、井上史大¹ (1. 横浜国立大学)