講演情報

11:00 〜 11:15

[S19_2_05(一般講演)]バンドギャップモニタ搭載TDS装置の開発とSiO₂-Si構造からのH₂とH₂O脱離の解析

〇小林清輝¹、木本健嗣¹、青木夏美¹ (1. 電子科学株式会社)