講演情報

11:00 〜 11:15

[S19_3_05(学生講演)]GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜のストレス解析(2)

〇西澤弘一郎^1,2、松本歩¹、日坂隆行²、川合良知²、門岩薫²、中村勇²、市川聡³、尾上和之²、小島善樹²、福室直樹¹、八重真治¹ (1. 兵庫県立大学、2. 三菱電機株式会社、3. 大阪大学超高圧電子顕微鏡センター)