[GS] 一般セッション（6）

15:00 〜 15:15

[GS-28] ウェハの回転洗浄プロセスにおける液膜流れのマイクロPTV計測Micro-PTV Measurement of Liquid Film Flow on Rotating Wafer in Cleaning Process

*須内 啓太¹、髙畑 凜太郎¹、月足 颯翔¹、宗像 瑞恵¹、吉川 浩行¹、村松 誠²、寺田 正一²、竹下 和宏²、後藤 一幸² (1. 熊本大学、2. 東京エレクトロン九州株式会社)

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