[S7] S7 特異反応場における時間/空間応答を利用した新奇材料構造創成IX

11:25 〜 11:40

[S7.4] 次世代パワーデバイスの炭素薄膜基板用の金属系単結晶育成の解析

○鈴木 茂¹、丹野 健徳¹、阿部 真帆¹、千葉 雅樹¹、石山 和志¹、杉山 和正¹、熊谷 毅²、福田 承生² (1. 東北大学、2. 福田結晶技術研究所)

キーワード：

ダイヤモンド、パワーデバイス、ガス－固相反応、基板材料、ニッケル基合金

Diamondはエネルギーの高効率利用に貢献するパワーデバイスとして有望視されている。Diamond結晶の特徴などから、その薄膜を作製する基板材料の金属系単結晶として、完全性の高いNi基合金単結晶が注目されている。本講演では、Ni-Cu合金の結果などについて報告する。