講演情報
[3-D2-01]半導体用シリコンウェハのインベントリデータに関する現状分析と課題整理
*畑山 博樹1、竹本 創1、内田 紀行1、片岡 祥1、山木 雄大1 (1. 産業技術総合研究所)
キーワード：
シリコンウェハ、GHG、排出原単位、IDEA、ecoinvent
社会のデジタル化とグリーン化を進めるうえでデジタル産業のサプライチェーン排出量削減は不可欠であり、半導体製造プロセスの環境負荷低減に対するLCAの貢献が期待されている。本研究では、シリコンウェハを対象として既存のデータベースや文献で想定されているGHG排出原単位及びプロセスインベントリを分析した。そして、実際のプロセスとの比較に基づいて、インベントリデータの拡充に向けた課題を示した。