講演情報
[3-D2-01]半導体用シリコンウェハのインベントリデータに関する現状分析と課題整理
*畑山 博樹1、竹本 創1、内田 紀行1、片岡 祥1、山木 雄大1 (1. 産業技術総合研究所)
キーワード:
シリコンウェハ、GHG、排出原単位、IDEA、ecoinvent
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