[3-D2] 電子部品

12:00 〜 12:20

[3-D2-04] 半導体製造のCVDプロセス材料に着目したカーボンエミッションの試算

*竹本 創¹、山木 雄大¹、Nguyen Thuy¹、畑山 博樹¹、岡田 直也¹、片岡 祥¹、深沢 正永¹、右田 真司¹、内田 紀行¹ (1. 産業技術総合研究所)

キーワード：

半導体製造、CVDプロセス材料、排出原単位、GHG、プロセスシミュレーション

閲覧にはパスワードが必要です

要旨の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。