2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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出展者一覧（薄膜形成・加工装置）

[K-11] （株）アライズテクノロジー

（株）アライズテクノロジー

■小型スパッタリング装置

住所816-0905
福岡県大野城市川久保2-9-7
TEL092-513-0370
FAX092-513-0371
Webサイト・SNS https://arise-tec.com/
[U-6] ALDジャパン（株）

ALDジャパン（株）

■プラズマ＆熱式原子層堆積装置（基板用） ■粉体用原子層堆積装置 ■高アスペクト成膜確認用テストチップ

住所183-0056
東京都府中市寿町1-3-10-401
TEL042-360-3152
FAX042-633-0916
Webサイト・SNS https://www.aldjapan.com/
[M-39] （株）SIJテクノロジ

（株）SIJテクノロジ

■シングルミクロンレベルの微細塗布が可能な世界最小液滴を形成できるスーパーインクジェット技術をはじめ、ピエゾインクジェット、ディスペンサー技術、スプレー技術、5軸3Dプリンテッドエレクトロニクスシステムなど塗布技術、装置技術を出展、ご紹介させて頂きます。

住所300-2635
茨城県つくば市東光台5-9-5
TEL029-896-5110
Webサイト・SNS https://sijtechnology.com/
[U-9] （株）エピクエスト

（株）エピクエスト

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■小型電気管状炉 ■アニール装置 ■VCSEL用酸化装置 ■各種Kセル

住所601-8142
京都府京都市南区上鳥羽中河原町78
TEL075-693-3356
FAX075-693-3357
Webサイト・SNS https://www.epiquest.co.jp/
[M-40] ケニックス（株）

ケニックス（株）

■【実機展示】圧力勾配式スパッタ装置、スパッタカソード、石英・セラミックス精密加工品

住所670-0935
兵庫県姫路市北条口2-15-501
TEL079-283-3150
FAX079-280-3002
Webサイト・SNS http://www.kenix.jp/
[U-5] （国研）産業技術総合研究所

（国研）産業技術総合研究所

■共用施設紹介パンフレットや試作サンプル品を展示します。

住所305-8568
茨城県つくば市梅園1-1-1　つくば第2
TEL029-861-6716
Webサイト・SNS https://www.aist.go.jp/aist_j/information/organization/tia-co/index.html
[M-34] サンユー電子（株）

サンユー電子（株）

■ディスクトップRFスパッタ装置 SVC－700RFIII ■DESK TOP QUICK COATER 小型スパッタ装置SCシリーズ ■卓上型真空蒸着装置 SVCシリーズ

住所169-0073
東京都新宿区百人町1-22-6
TEL03-3363-3551
FAX03-3364-2892
Webサイト・SNS https://www.sanyu-electron.co.jp
[U-8] JSWアフティ（株）

JSWアフティ（株）

■成膜装置紹介 ■成膜サンプル各種

住所192-0918
東京都八王子市兵衛2-35-2
TEL042-632-8800
Webサイト・SNS https://www.jsw-afty.co.jp/
[A-16] （株）スプリード

（株）スプリード

■ALD装置 ■スパッタ装置 ■蒸着装置 ■真空コンポーネント

住所206-0801
東京都稲城市大丸422-1
TEL042-379-4655
FAX042-379-4656
Webサイト・SNS https://www.splead.jp
[U-2] TNSシステムズ（同）

TNSシステムズ（同）

■YAGレーザー薄膜加工システム ■ワイヤーボンダ― ■ダイボンダ― ■電気計測関連装置および部品 ■小型真空装着装置 ■各種特注装置

住所271-0077
千葉県松戸市根本14-2-707
TEL047-703-1500
Webサイト・SNS http://tns-systems.jp/
[A-22] テガサイエンス（株）

テガサイエンス（株）

■多目的真空蒸着装置 ■ナノ粒子生成ソース ■RFアトムソース

住所277-0832
千葉県柏市北柏3-5-4
TEL04-7168-5311
Webサイト・SNS https://www.tegascience.co.jp/
[A-26] （株）トヤマ

（株）トヤマ

■表面分析装置とコンポーネント ■成膜装置とコンポーネント ■残留ガス成分分析装置　など

住所258-0112
神奈川県足柄上郡山北町岸3816-1
TEL0465-79-1411
FAX0465-79-1412
Webサイト・SNS https://www.toyama-jp.com/
[U-4] （株）クリエイティブコーティングス/（株）Cool ALD/ 長瀬産業（株）

（株）クリエイティブコーティングス/（株）Cool ALD/ 長瀬産業（株）

■室温ALD装置
・ALD-Mini：微小部材、少量粉体にフォーカス
・CMVAシリーズ：ALD成膜装置
・CMPシリーズ：粉体ALD成膜装置
・CMVTシリーズ：BaTiO3成膜装置

住所100-8142
東京都千代田区大手町2-6-4　常盤橋タワー
TEL03-3665-3879
FAX03-3665-3174
Webサイト・SNS https://www.nagase.co.jp/
[U-3] （株）ハイテック・システムズ

（株）ハイテック・システムズ

■Annealsys社製　高速熱処理（RTP）装置 ■NEOCERA社製　パルスレーザー蒸着（PLD）装置 ■Plasmionique社製　熱蒸着・成膜装置 ■Veeco社製　原子層堆積（ALD）装置

住所222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜3-19-5　新横浜第二センタービル12階
TEL045-478-6511
Webサイト・SNS https://www.hightec-sys.com/
[M-35] （株）パスカル

（株）パスカル

■真空成膜装置 ■真空コンポーネント ■表面分析装置 ■クラスターシステム（次世代型AI対応デジタルラボ 成膜・評価・最適化サイクルの自動化）

住所545-0011
大阪府大阪市阿倍野区昭和町1-16-4
TEL06-6626-1321
Webサイト・SNS http://www.pascal-co-ltd.co.jp/
[U-2] （株）プリウェイズ

（株）プリウェイズ

■高精細印刷装置 ■卓上コーター

住所305-0044
茨城県つくば市並木1-1　物質・材料研究機構
TEL029-860-4918
Webサイト・SNS http://priways.co.jp/
[U-7] BENEQ（株）

BENEQ（株）

■ALD system : Beneq TFS200, Beneq TFS500, R2

住所222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-5-14　WISE NEXT新横浜3階
TEL045-285-9438
Webサイト・SNS https://beneq.com/jp/
[M-38] （株）ミクロ技術研究所

（株）ミクロ技術研究所

未定

住所151-0063
東京都渋谷区富ヶ谷1-33-14
TEL03-3469-1133
FAX03-3469-1557
Webサイト・SNS https://www.microtc.com/
[M-36] 文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）

文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）

■マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)では、ナノプラの設備共用を引き継ぎ、全国の大学、研究機関が保有する最先端の計測・分析、加工プロセス設備と技術が使えます。ARIM事業の概要を紹介します

住所606-8501
京都府京都市左京区吉田本町　京都大学工学部物理系校舎327号室
TEL075-753-5656
Webサイト・SNS https://nanonet.mext.go.jp/
[A-9] ワッティー（株）

ワッティー（株）

■ALD成膜装置 ■ヒーター（マイカ、シリコンラバー、ポリイミド、AIN）

住所141-0031
東京都品川区西五反田7-18-2
TEL03-3779-1001
FAX03-3495-2525
Webサイト・SNS https://watty.co.jp/