[22a-11E-1~9] CS.5 3.10 フォトニック構造・現象、3.14 シリコンフォトニクス・集積フォトニクスのコードシェアセッション

10:15 〜 10:30

[22a-11E-4] 高Ｑ値フォトニック結晶ナノ共振器の詳細な穴形状揺らぎモデリング

〇倉持 栄一^1,2、北 翔太^1,2、新家 昭彦^1,2、納富 雅也^1,2 (1.ＮＴＴ物性基礎研、2.ＮＴＴ ＮＰＣ)

キーワード：

フォトニック結晶,光マイクロ共振器,シリコンフォトニクス

複数の穴を変調し高Q値化したフォトニック結晶L3共振器において穴径／周期比に依存したプロセス由来の加工揺らぎ依存性があることを見出したが、従来の穴径・穴位置の揺らぎを与える計算モデルでは実験結果を説明できなかった。今回、16角形穴の各頂点にランダムに揺らぎを与えるモデルにおいて、穴径／周期比が大きくなるほど大きなＱ値低下が発生しやすくなることを示唆する計算結果が得られたので報告する。