講演情報
[22a-12G-4]PIC/MCC 法による大気圧He直流グロー放電の検証
〇杤久保 文嘉1、中川 雄介1 (1.都立大院システムデザイン)
キーワード：
大気圧グロー放電,プラズマシミュレーション
安定な大気圧非平衡プラズマの一種である大気圧直流グロー放電では、陰極シースでイオンは加速されるが、イオンエネルギーについての検証は十分にされていない。また、ジュール加熱によるガス温度上昇がイオンエネルギーに影響を与える可能性もある。本研究は印加電圧等の放電パラメータやジュール加熱の放電構造、特にイオンエネルギーに対する影響評価を目的としてPIC/MCC 法による大気圧He 直流グロー放電の検証を行った。