講演情報
[22a-12G-8]トモグラフィック発光分光計測によるフッ素原子コロナモデルに基づくCF4 / O2プラズマの電子温度診断
〇(DC)山下 雄也1,2、土居 謙太3、清田 哲司3、渡邊 修平1、島谷 和希1、菊地 航行1、根津 篤1、赤塚 洋1 (1.東工大、2.学振DC、3.アルバック)
キーワード：
発光分光計測,トモグラフィ,コロナモデル
本研究では CF4 /O2誘導結合プラズマを対象に，チャンバ側面に配置した34視線の分光放射輝度をマルチチャネル分光器で測定した．制約正則化法にもとづく分光トモグラフィ計算により，分光放出係数の水平面分布を求めた．発光線スペクトルから，フッ素原子3 p4 4D7/2○および3p2 2P3/2○の励起準位準位数密度を求めた．コロナ平衡を仮定して電子温度の位置分布を診断した．チャンバ構造および装置パラメータが電子温度の位置分布に与える影響を考察した．